SiC Keramiek

SiC-keramiek word al hoe meer in halfgeleiertoerusting gebruik, hoofsaaklik omdat dit beter hou in moeiliker toestande. Wanneer die temperatuur hoog word of die proses meer aggressief word, kan materiale soos kwarts of silikon perke begin toon, en dit is gewoonlik waar SiC ter sprake kom. In oondprosesse soos oksidasie of diffusie, hou onderdele soos waferbote of -spane wat van SiC gemaak word, langer. Hulle behou hul vorm en bring nie veel kontaminasie in nie, selfs na lang lopies. Mense skakel dikwels om hierdie rede van kwarts oor, veral wanneer onderhoud te gereeld word.

Vir etsing word SiC dikwels gekies bloot omdat dit plasma langer oorleef. Die lewensduurverskil in vergelyking met silikononderdele is merkbaar in baie opstellings, hoewel dit steeds afhang van die presiese proses. Dit help ook 'n bietjie met deeltjiebeheer, wat meer sensitief word namate nodusse krimp. Jy sal ook SiC sien wat as susceptors in MOCVD of CVD gebruik word. In daardie gevalle gaan dit minder oor "sterkte" en meer oor die stabiele handhawing van temperatuurgedrag. Buiten dit verskyn dit in kameronderdele soos voerings of stortkoppe, en soms ook in hanteringskomponente.