Kwartsonderdele

Kwarts is steeds oral in halfgeleierverwerking. Dit is nie nuut nie, maar dit is betroubaar, en die meeste fabrieke is vertroud met hoe dit optree. Solank suiwerheid beheer word, werk dit goed in diffusie-, oksidasie- en skoonmaakstappe.

Baie kwartsdele word in oondstelsels of PECVD-gereedskap gebruik. Die hoofverwagting is stabiliteit – nie noodwendig lang leeftyd nie, maar voorspelbare werkverrigting. Dit is gewoonlik goed genoeg vir baie standaardprosesse.

Natuurlik het kwarts sy beperkings. Dit kan vinniger verslyt onder sekere toestande, veral in vergelyking met SiC. Maar omdat dit relatief maklik is om te verkry en nie te duur is nie, gebruik mense dit steeds redelik baie.