Silikon onderdele

Silikononderdele word hoofsaaklik gebruik omdat hulle by die wafermateriaal pas. Dit alleen maak hulle nuttig, aangesien dit die kans verminder om ongewenste verskille in die proses in te bring. Hulle is algemeen in ets- en afsettingsomgewings. Werkverrigting is oor die algemeen stabiel, hoewel die leeftyd nogal kan wissel afhangende van hoe hard die proses is.

Met beter bewerking en oppervlakbehandeling het hierdie onderdele mettertyd verbeter. Tog word hulle nie altyd vir duursaamheid gekies nie, maar meer vir versoenbaarheid en proseskonsekwentheid.