SiC Keramiek Kroes

Die SiC Keramiek Kroes dien as 'n kritieke insluitings- en reaksievat in prosesse soos SiC- en GaN-kristalgroei, epitaksiale afsetting, diffusie en hoëtemperatuur-uitgloeiing - waar suiwerheid, stabiliteit en temperatuuruniformiteit direk die waferopbrengs en kristalkwaliteit bepaal.

Materiële eienskappe

● Materiaalsamestelling: Ultrasuiwer gesinterde SiC of CVD-SiC (≥99.9%)

● Digtheid en mikrostruktuur: Volledig digte, fynkorrelige en nie-poreuse struktuur vir superieure gasondeurlaatbaarheid

● Termiese stabiliteit: Uitstekende werkverrigting tot 2000°C in inerte of reaktiewe gasatmosfere

● Termiese geleidingsvermoë: 120–200 W/m·K, wat uitstekende temperatuuruniformiteit verseker

● Korrosiebestandheid: Uitstaande stabiliteit in waterstof-, chloor- en halogeengebaseerde prosesgasse

● Oppervlakafwerking: Spieëlgepoleer en plasma-skoongemaak om deeltjiegenerering te verminder

Sleuteltoepassings in halfgeleiervervaardiging

Die SiC Keramiekkroes speel 'n belangrike rol in verskeie halfgeleiervervaardigingstadiums, insluitend:

1. Kristalgroei en epitaksie

SiC-kroesies word in PVT (Fisiese Dampvervoer) en CVD epitaksiale groeistelsels gebruik en bied 'n stabiele, nie-reaktiewe houer vir bronmateriale en groeiende kristalle.

Hul hoë suiwerheid en ooreenstemmende termiese uitbreidingskoëffisiënt verminder kontaminasie en spanning, wat defekvrye kristalvorming vir SiC-, GaN- en Ga₂O₃-substrate verseker.

2. Hoëtemperatuurdiffusie en -gloeiing

In termiese behandeling, diffusie en oksidasieprosesse behou SiC-kroeë hul vorm en chemiese integriteit onder uiterste termiese siklusse, wat uitgassing en deeltjievrystelling voorkom wat die waferkwaliteit kan benadeel.

3. Materiaalsintering en poeierverwerking

SiC-kroesies is ook ideaal vir halfgeleiergraadpoeiersintering, wat hoëtemperatuurchemiese traagheid en dimensionele stabiliteit onder vakuum- of beheerde atmosfeertoestande bied.

Semixlab se voordele

By Semixlab Semiconductor bied ons meer as net komponente — ons lewer omvattende ingenieursoplossings om aan die streng eise van halfgeleiervervaardiging te voldoen.

1. Pasgemaakte ontwerp

● Pasgemaakte kroesiegeometrie, dikte en gasinlaatkonfigurasie.

● Versoenbaar met groot kristalgroei- en CVD-stelsels (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco, ens.).

2. Tegniese Konsultasie

● Interne materiaalwetenskaplikes en prosesingenieurs met meer as 20 jaar se bedryfservaring.

● Ondersteuning vir termiese ontwerp, gasvloeisimulasie en prosesooreenstemming.

3. Gehalteversekering voor aflewering

● Elke kroesie ondergaan dimensionele presisie-inspeksie, heliumlektoetsing en oppervlakruheidanalise.

● Opsionele CVD-beskermende laag en spieëlpoleringsdienste vir verbeterde lewensduur en netheid.

Die Semixlab SiC Keramiekkroes stel 'n nuwe maatstaf vir termiese stabiliteit, suiwerheid en chemiese duursaamheid in gevorderde halfgeleierverwerking. Met pasgemaakte ontwerpopsies, tegniese konsultasie en streng voor-versendingsinspeksie, verseker Semixlab dat elke produk voldoen aan die veeleisende vereistes van hoëtemperatuur-, hoësuiwerheid-halfgeleiertoepassings. Ons sien uit na u verdere navrae.