Silicon Carbide Keramiek Wafer Boot

Silikonkarbied Keramiek Waferboot is 'n hoëprestasie-dragereedskap wat ontwerp is vir halfgeleiervervaardiging en fotovoltaïese energieprosesse. Dit is gemaak van hoë-suiwerheid silikonkarbied (SiC) keramiekmateriaal, wat vervaardig word deur 'n gevorderde perslose sinterproses. Dit het uitstekende hoë temperatuurweerstand, chemiese stabiliteit en meganiese sterkte, en word die kernverbruiksgoedere in wafer-oordrag, hoë temperatuur gloeiing en ander presisieprosesse.

1. Stabiliteit in uiterste omgewings

Die molekulêre struktuur van sif-keramiek gee dit ultra-hoë termiese stabiliteit, wat sy strukturele integriteit in 'n deurlopende hoë temperatuuromgewing van 1650°C kan handhaaf. In vergelyking met konvensionele kwarts- of alumina-materiale, is die termiese uitbreidingskoëffisiënt van sif-bote baie laag (slegs 4.5×10^-6/°C), wat effektief vervorming of krake wat deur skielike temperatuurveranderinge veroorsaak word, vermy. In halfgeleiervervaardiging kan hierdie eienskap die verplasingsafwyking van die wafer in die hoëtemperatuurproses aansienlik verminder en die opbrengs verbeter.

2. Ongeëwenaarde korrosiebestandheid

Silikonkarbied-keramiek toon sterk weerstand teen sterk sure (soos hidrofluoorsuur, swaelsuur), sterk basisse en oksiderende gasse (Cl₂, O₂). Selfs in 'n swael- of halogeenatmosfeer by 1400°C bly die oppervlak glad en korrosievry, wat verseker dat geen kontaminasie op die waferoppervlak agterbly nie.

3. Lang dienslewe en ekonomiese voordele

Deur die unieke oppervlakverdigtingsbehandelingsproses is die slytasieweerstand van die silikonkarbiedboot meer as 15 keer hoër as dié van tradisionele materiale. Die werklike toets toon dat na 1000 siklusse in 'n oksidasie-atmosfeer van 1400°C, die oppervlakruheid steeds laer as 0.2μm Ra is, en die omsettye kan 5-8 keer dié van gewone keramiekbote bereik, wat die frekwensie van toerustingafskakeling en vervanging aansienlik verminder, en die omvattende kostebesparing is meer as 30%.

Vinnige besonderhede:

1. Ander name: silikonkarbied kristalboot, halfgeleier keramiek draer.

2. Toepassing: Gebruik in hoëtemperatuurdiffusie-, oksidasie- en uitgloeiingsprosesse in halfgeleiervervaardiging om silikonwafers te dra en eenvormige hitteverspreiding te verseker.

3. Kernparameters: suiwerheid ≥99.99%, maksimum temperatuurweerstand van 1500 ℃, lae termiese uitbreidingskoëffisiënt (4.5 × 10-6 / ℃), sterk termiese skokweerstand.

Hoëtemperatuur-hittebehandeling van halfgeleierwafers (oksidasie, uitgloeiing, dotering). 

Fotovoltaïese industrie waferbedekking en sintering.

Ultrahoë temperatuurstabiliteit: langtermynweerstand teen 1500°C hoë temperatuur, geen vervorming of prestasieverswakking nie.

Lae besoedelingsontwerp: hoë suiwerheidsmateriaal + nie-klewende proses, vermy metaalioonbesoedeling.

Lang lewensduur: uitstekende termiese skokweerstand, langer dienslewe as kwartsdraer 3-5 keer.

Buigsame aanpassing: ondersteuningsgrootte, gleufafstand, diepte-aanpassing van oppervlakbehandeling.