Veeco Epitaxy-onderhoud vir langer SiC-bedekte onderdeelleeftyd

In 'n Veeco-skyfievervaardiger, CVD sic-laag Onderdele word voortdurend aan hitte-, plasma- en gasvloei in elke lopie onderwerp. Hierdie spanning verander geleidelik die oppervlak van die onderdele mettertyd, selfs al is hulle steeds visueel onberispelik. Die meeste aanlegte het uitgevind dat klein veranderinge in die voorkoms van die laag lei tot meer stowwerige vuiligheid, temperatuurskommelinge en 'n toename in die skoonmaak van die masjien. 'n Vervaardigingslyn het uitgevind dat deur bloot die wastyd van onderdele te verander, voortydige slytasie van draers voorkom is, en dit gelei het tot 'n meer stabiele lopie vir 'n lang tydperk. Deur die korrekte versorgingsgewoontes te beoefen, CVD TaC en Cvd sic Bedekte onderdele is 'n betroubare en langerdurige onderdeel wat die stabiliteit van die masjien en die konsekwentheid van resultate verseker.

Voorkomende Onderhoudswenke vir Veeco EPIK Epitakse Toerusting

'n Goeie langtermynlewensduur vir Veeco-masjinerie berus meer op klein dingetjies wat jy gereeld doen in plaas van groot herstelwerk. Baie deklaagfoute gebeur baie geleidelik en die vermoë om waarskuwingstekens raak te sien, het 'n groot impak. Om onderdele en voerings gereeld na 'n sekere aantal lopies skoon te maak en te kontroleer, is 'n gewoonte wat baie voordeliger is as om te wag totdat onderdele faal.

Enige geringe verskil in die gevoel van die oppervlak of 'n kleurverandering dui op 'n moontlik oorwerkte laag. Een fasiliteit het temperatuurprobleme ondervind omdat hulle nie 'n roetine-onderdeel- en voeringkontrole uitgevoer het nie, en kon toe hierdie temperatuurprobleme regstel deur bloot skoon te maak en weer gelyk te maak.

Hoe onderdele skoongemaak word, is ook belangrik. Kragtige chemikalieë of skoonmaakmiddels en oormatige growwe skoonmaak sal veroorsaak dat die laag baie vinnig misluk. Sagte en meer presiese skoonmaakpraktyke werk baie meer effektief, veral op onderdele wat teen hoë temperature werk. Sommige werkers is geneig om milder skoonmaakmiddels te gebruik wanneer die masjien aanvaarbaar goed loop en stel die meer diepgaande skoonmaakproses uit totdat dit absoluut noodsaaklik is.

Gasvloei kan nog 'n vergete onderhoudspraktyk wees, en hoewel dit onbeduidend mag lyk, sal 'n ongebalanseerde gasvloei lei tot brandpunte wat die laag van onderdele afslyt. 'n Vinnige sensorkontrole voor en na 'n lopie sal sulke mislukkings voorkom. Verkoelingsfases moet glad nie versnel word nie. 'n Onbehoorlik verkoelde onderdeel sal spanning tussen die onderdeelmateriaal en die laag opbou. Daar is gevind dat die verlenging van 'n verkoelingsfase met 'n paar ekstra minute tydens besonder hektiek lopies baie klein skeure in onderdele in een fasiliteit voorkom.

Rekordhouding van waarnemings, resultate en gedrag is ook uiters voordelig om die mislukking van 'n onderdeel as gevolg van 'n deklaagafbraak te antisipeer. Met 'n verbintenis tot roetine-onderhoud is die masjien minder geneig tot drastiese mislukking en hou onderdele langer.

Hoe Veeco-onderdele opbrengsstabiliteit en prosesuniformiteit beïnvloed

Soos jou toerusting ouer word, verander die onderdele geleidelik die stabiliteit. Items soos draerringe, voerings en gasplate mag dalk baie basies lyk, maar hul status is direk verantwoordelik vir die verandering van termiese balans en gasvloei. Klein veranderinge in die toestand van een onderdeel sal verander hoe die hitte versprei.

Ons het een geval gesien van stadig afnemende opbrengs van die buitekante van wafers, wat aanvanklik toegeskryf is aan resepverskuiwing, maar later gediagnoseer is as termiese ongelykheid wat veroorsaak is deur verslete bedekte draerringe as gevolg van swak vervaardigde onderdele. Sodra hoë kwaliteit onderdele weer ingebring is, is die termiese balans herstel en alle produkte herwin.

Dieselfde argument geld vir gasvloei-onderdele. Die eenvoudigste onderdeel soos die gasstortkop kan effens buig of verstop raak op so 'n manier dat dit die egalige gasvloei deur die kamer versteur en dus die dikte van die waferlaag beïnvloed. In een fasiliteit het hulle opgemerk dat die waferdikte voortdurend van links na regs verskuif het, die oorsaak wat gevind is, was 'n verslete gasplaat wat heeltemal te veel ure se werking gehad het.

Deur identiese komponente deurgaans te gebruik, sal hierdie tipe verskuiwing voorkom word. Deur onderdele te gebruik wat by die oorspronklike toerusting pas volgens die oorspronklike spesifikasie, sal die toerusting altyd op dieselfde manier presteer as na elke herstelwerk. Die berging en hantering van onderdele word ook belangrik. Die bedekte onderdeel wat 'n rukkie in 'n oop laboratoriumomgewing gestaan ​​het, sal stof aantrek.

Klein deeltjies in hierdie streek kan vinnig ontwikkel tot defekte in hoëtemperatuurprosesse. Baie fabrieke bêre nou al hul onderdele in verseëlde houers, wat slegs oopgemaak word totdat dit tyd is vir die installering van 'n onderdeel in die gereedskap.

Die skedulering van onderdele is ook belangrik - te laat installeer veroorsaak onopspoorbare verskuiwing van resultate, maar te vroeg installeer en geld word vermors. 'n Optimale balans kan bereik word gebaseer op ure en vinnige kontroles.

Skoonmaakmetodes wat slytasie op CVD SiC-bedekte komponente verminder

Die balansering van hierdie bedekte dele vir skoonmaak kom hierop neer. Jy moet ontslae raak van aanhoudende opbou terwyl jy jou laag glad en ongedeerd hou. As die skoonmaak te hard is, sal die onderdeeloppervlak vinnig slyt, as dit te sag is, is dit normaal dat residu tot 'n irriterende mate ophoop en jou loopproses vernietig.

Lae van oorblywende chemikalieë sal geleidelik jou onderdeeloppervlak mettertyd bedek as 'n dun lagie residu tydens warm lopies. Alhoewel dit 'n natuurlike verskynsel is, ontstaan ​​die probleem wanneer jy eintlik die laag van die onderdeel begin verwyder.

Die eerste fase in 'n veilige skoonmaakproses is droogskoonmaak. Hitte- en gasskoonmaak maak voorsiening vir 'n relatief nie-skurende verwydering van 'n sagte ophoping van residue, wat 'n goeie oplossing kan wees vir sagte ophoping wat na kort lopies met ligte opbou kan bestaan.

Vir enige gevalle van vloeibare skoonmaak is 'n sagte chemiese doop beter as suurbaddens. Verskeie spanne gebruik verdunde chemikalieë met minimale weektye. Een fasiliteit het berig dat die verkorting van weektye met so min as 'n klein bietjie die lewensduur van die onderdeel met maande verleng omdat die laag nie sy glans verloor nie.

Die fisiese benadering is nog 'n belangrike komponent van die behoud van 'n laag. Skuursponse, harde borsels of hoëdrukwaterspuite kan mikroskopiese skrape op die laag veroorsaak, wat weer bronne van stof tydens die laagsiklusse word. Behoorlike spoel- en droogsiklusse is ook uiters belangrik; oorblyfsels van skoonmaakmiddels sal jou laag teen hoë hitte vreet.

’n Skoon waterspoel gevolg deur ’n egalige droogproses behoort dit te doen. Een manier waarop sommige aanlegte dit omseil, is om hul skoonmaakprosesse te skei gebaseer op ’n vlak van slytasie; ligte opbousels sal sagte skoonmaak gebruik en ernstige opbousels sal aggressiewe skoonmaak gebruik om onnodige skoonmaak van perfek geskikte onderdele te vermy.

Verlenging van die lewensduur van die susceptor deur geoptimaliseerde termiese bestuur

Die draers vir hierdie stelsels doen 'n aansienlike hoeveelheid harde werk. Hierdie toestelle is reg in die warmste gebied geleë, omhul die wafers en streef daarna om die temperatuur absoluut uniform te hou. Vir die meeste van hierdie komponente vind die meeste slytasie plaas as gevolg van termiese spanning, nie as gevolg van hantering of skoonmaak nie. Stabiele temperatuurtoestande is die primêre faktor vir die verbetering van die lewensduur.

Vinnige of inkonsekwente termiese veranderinge veroorsaak ongelyke uitbreiding van die substraatmateriaal en die deklaag. Dit veroorsaak beduidende interne spanning. Een produksiefasiliteit het voortydige randskeure waargeneem omdat hul oggendtemperatuur te vinnig was as gevolg van werkslading, en het bloot hul verhittingstyd beheer.

Deur die verhittings-/afkoeltye te vertraag, is die termiese spanning in die onderdeel effens uitgeskakel. Hierdie klein verandering het min impak op hul deurset gehad, terwyl dit die lewensduur van die oppervlaktes aansienlik verleng het. Selfs hitteverspreiding speel ook 'n rol. As sekere dele van 'n draer voortdurend warm word, sal hierdie gedeeltes vinniger afbreek en die waferresultate ruïneer voordat sigbare oppervlakslytasie ooit waargeneem word.

Gereelde termiese profielskanderings kan probleme van ongelyke temperatuur maklik identifiseer. Dit is amper altyd die gevolg van geringe wanbelyning, nie-uniforme gasvloei of gedegradeerde verwarmers. Beheer van verkoelingstyd is net so krities. As die onderdele na 'n warm siklus te vinnig verwyder word, sal dit lei tot die aftrek van die laag van die onderliggende materiaal. Deur die verkoelingstyd te vertraag, word oormatige interne spanning uitgeskakel. Sommige produksiespanne kan verkoelingstye slegs gedurende hoë werksperiodes verleng.

Die koste van 'n bykomende hoeveelheid verkoelingstyd vir baie komponente is minimaal, maar dra aansienlik by tot hul leeftyd. Nog 'n nuttige strategie om die lewensduur van die draer, en ander komponente, te verleng, is om volle kragtemperatuurveranderinge te vermy waar moontlik. Deur teen matige temperature te werk tydens stilstand, in plaas daarvan om die stelsel onmiddellik terug te bring na temperatuur vir klein onderbrekings, sal termiese skok aansienlik verminder word.

Identifisering van oppervlakskade voordat deeltjiebesoedeling plaasvind

So, die oppervlakskade begin gewoonlik stilweg, lank voordat dit 'n verskriklike stofprobleem binne die masjien veroorsaak. Die probleem is dat slytasie heel aan die begin heeltemal onskadelik vir jou sal lyk, maar dit ontwrig steeds jou prosesstabiliteit stilweg. Die eerste aanduiding sou 'n verlies aan polering (of oppervlakhelderheid) wees.

'n Goeie laag sal glad en blink onder 'n lig lyk, maar 'n begin van slytasie van die laag kan dof of met onreëlmatige blink kolletjies op die oppervlak voorkom. Een van die werkers in 'n lyn het 'n effense melkerige ring op een van die dele gesien na skoonmaak en het nie omgegee tot 2 weke later nie, die stoftelling op daardie einste plek het 'n groot toename getoon.

Die ongelyke opbou kan nog 'n aanduiding wees. Oorskiet vuilgoed wat geneig is om meer op 'n sekere area op te hoop, is nog 'n aanduiding, dit sê vir jou dat hierdie area grof begin word het. Dit beteken dat die opbou nie maklik afval nie, anders as 'n goeie en gladde oppervlak.

Temperatuurveranderinge kan jou ook iets vertel; 'n klein verandering in eenvormige temperatuur oor die wafer kan beteken dat die oppervlak nie meer sy rol behoorlik speel nie, lank voordat jy regtig 'n skade kan sien.

Ons wil nie aan die dele raak nie (aangesien dit sekerlik stof sal veroorsaak), maar jy kan daardie kenmerke indirek nagaan. As dit byvoorbeeld aansienlik langer neem vir 'n sekere onderdeel om volgens jou standaardproses skoongemaak te word, beteken dit gewoonlik dat die oppervlak verander het en nou ongelyk is.

Die monitering van die stoftelling binne die masjien is een van die mees betroubare beskermende maatreëls wat jy kan instel, selfs 'n klein stadige toename moet nie geduld word nie. Een groep het die mislukking van die voering vroegtydig ontdek as gevolg van 'n baie stadige opwaartse neiging oor 'n paar lopies, eerder as om te wag vir 'n harde alarm van 'n stukkende masjien.

Berging en hantering van onderdele is 'n belangrike faktor, aangesien 'n klein skrapie aan die oppervlak van 'n harde materiaal 'n groot bron van stof tydens warm loop kan wees. Daarom sien jy soveel masjiene met spesifieke sagter bakke vir die berging van onderdele.