EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Hoë Suiwerheid Sagte Vilt
Semixlab se hoë suiwerheid sagte vilt is spesifiek ontwerp vir veeleisende hoë-temperatuur termiese veld toepassings in halfgeleiervervaardiging. Vervaardig van hoë-gehalte koolstof-gebaseerde voorlopers en gesuiwer deur gevorderde verwerking, lewer hierdie sagte viltmateriaal ultra-lae onsuiwerheidsvlakke, uitstekende termiese isolasie en uitstekende strukturele aanpasbaarheid. Die buigsame struktuur maak presiese passing binne komplekse termiese veldontwerpe moontlik, wat geoptimaliseerde temperatuurgradiënte en stabiele prosestoestande moontlik maak. Ons sien uit na u navraag.
Beskrywing
Waarom maak suiwerheid saak in termiese velde? Wanneer derdegenerasie vervaardig word?
halfgeleiers (SiC/GaN), tradisionele isolasievilt met 'n hoë asinhoud (meer as 500 dpm) is geneig om metaalonreinhede vry te stel by temperature bo 1600°C. Dit veroorsaak roosterdefekte en verlaag die waferopbrengs.
Semixlab se sagte vilt gaan deur ons eksklusiewe hoëtemperatuur chemiese suiweringsproses, wat die totale onsuiwerheidsvlak tot minder as 5 dpm verlaag. Dit verseker nie net 'n skoon groeiomgewing nie, maar lewer ook die uiterste termiese stabiliteit wat nodig is vir langsiklus kristalgroei.
Semixlab Edge
Ons is meer as net 'n verskaffer — ons is u hoëtemperatuursone-vennoot. Gestig deur CAS-navorsers, blink ons uit in die kombinasie van isolasie-oplossings met CVD-bedekkings (TaC/SiC). Ons verskaf nie net isolasievilt nie; ons optimaliseer u volle termiese veld deur grafietverwarmers en poreuse TaC te gebruik om energieverbruik te verminder. Ons interne 5-as CNC-bewerking maak pasgemaakte, voorafgemonteerde stelle moontlik wat presies by u oondontwerp pas met geen foute nie.
spesifikasies
| Eiendomme | Premium PAN-gebaseerde vilt | Hoë-Spesifikasie Viskose-gebaseerde Vilt |
| Totale onsuiwerhede | ≤5 dpm (GDMS) | ≤10 dpm |
| Koolstofinhoud | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Grootmaat digtheid | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Termiese Verkoeling (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m²·K |
| Maksimum Dienste Temperatuur | 2800°C (Inert/Vakuum) | 2600°C (Inert/Vakuum) |
| Standaard Dikte | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
aansoeke
Kritiese toepassings
Veldbewese prestasie:
Ons vilt, wat ontwerp is vir SiC- en silikongroei (PVT/CZ), dien as 'n termiese stabiliseerder om kristalontwrigtings te onderdruk. In MOCVD/Epitaksie (versoenbaar met Aixtron, NuFlare) bly dit inert onder korrosiewe H2/NH3-vloei, wat die diffusie van onsuiwerhede blokkeer. Vir veseltrekking en saffiersintering verseker die nul-uitgassingseienskap vakuumintegriteit en voorkom opbrengsverlies.
Mededingende voordeel
Kernvoordele
Ultrahoë suiwerheid (<5 dpm), getoets deur GDMS. Streng beheerde Al, B, Fe en ander belangrike onsuiwerhede om kruiskontaminasie in epitaksiale groei te vermy.
Uitstekende termiese isolasie: termiese geleidingsvermoë so laag as 0.12 W/m·K teen 1000°C, wat hitteverlies verminder en termiese gradiënt binne ±1°C beheer.
Lae deeltjie-afskeiding: Geoptimaliseerde vesel- en oppervlakbehandeling verminder stof in vakuumsiklusse, wat CVD (TaC/SiC) grafietsusseptore en verwarmers beskerm.
Hoë buigsaamheid en pasvorm: sag en saampersbaar vir 360° naatlose toedraai op komplekse oonde, wat termiese lekkasies van stewige isolasie voorkom.
FAQ
Geoptimaliseerde Gereelde Vrae
V: Hoe verbeter Semixlab sagte vilt die lewensduur van grafietverwarmers?
A: Deur 'n meer stabiele termiese skild te bied, verminder ons sagte vilt die kraglas wat die verwarmer benodig om teikentemperature te handhaaf, waardeur die koolstofsublimasie en oksidasie van die grafietverwarmingselemente vertraag word.
V: Kan jou vilt in hoëvloei-gasomgewings gebruik word?
A: Ja. Vir hoë-gassnelheid prosesse (soos MOCVD), beveel ons ons hoë-digtheid PAN-gebaseerde vilt of 'n hibriede oplossing met 'n grafietfoelie-bekleding aan, wat veselerosie voorkom en geen deeltjiekontaminasie verseker nie.
ons Dienste
