Vakuum Warmpersoond vir SiC-kristalsaadbinding

Saadkristalbinding is een van die kritieke prosesse wat kristalgroei beïnvloed. Gebaseer op die eienskappe van saadkristalbinding, het Semixlab gespesialiseerde vakuum-warmperstoerusting vir saadkristalbinding ontwikkel. Hierdie toerusting verminder effektief verskeie defekte wat tydens die bindingsproses gegenereer word, waardeur die opbrengs van saadkristalbinding en die finale kwaliteit van die kristalle verbeter word.

Ⅰ. Inleiding tot Saadkristalbinding Vakuum Warmpers Toerusting

1. Gebruik vir saadkristalbinding voor SiC-kristalgroei;

2. Gebonde sade handhaaf adhesie by 2300°C sonder om los te maak, wat 100% borrelvrye binding met hoë platheid en skoon waferoppervlaktes vry van onsuiwerheidsadsorpsie bereik;

3. Die verhittingsbak gebruik skyftipe weerstandsverhitting, wat eenvormige temperatuurverspreiding, veilige werking en gebruikersvriendelike hantering verseker;

4. Druksensors wat onder die bak gemonteer is, vertoon presies die druk wat op die werkstuk toegepas word.

II. Funksionele oorsig van saadkristalvakuum-warmperstoerusting

Die Semixlab Saadkristal Vakuum Warm Pers Oond is ontwerp vir vakuum-ondersteunde warm persing van silikonkarbied saadkristalle.

1. Dubbellaag waterverkoelde metaalkamer verminder oondoppervlaktemperatuur effektief, minimaliseer hoëtemperatuurgevare en verlaag omgewingsimpak;

2. In staat tot outomatiese druktoepassing en -hou, geleidelike laai en verplasing met outomatiese beheer;

3. Diverse vakuumstelselkonfigurasies laat die keuse van verskillende vakuumvlakke toe gebaseer op prosesvereistes;

4. Eenvormige drukverspreiding en hoë temperatuurbeheer-presisie;

5. Druktoepassing maak gebruik van presisie meganiese stootmeganismes vir akkurate, stabiele druklewering, wat veilige werking en omgewingsverenigbaarheid verseker;

6. Universele voegverbinding tussen boonste perskop en drukstang waarborg aanpasbare parallelisme tussen boonste kop en onderste bak tydens persing, wat eenvormige drukverspreiding verseker;

7. Boonste perskop bevat dempende druktoepassing vir gladde, sagte kraglewering sonder impak, wat werkstukbreuk voorkom;

8. Temperatuursensors geïntegreer in die hitte-oordragplaat-koppelvlak met die temperatuurbeheerder, wat presiese verhittingstemperatuur en programmatiese beheer moontlik maak;

9. Beide die palet en boonste perskop bevat isolasietoestelle om hitteverlies te verminder.

Ⅲ. Semixlab Saadkristal Vakuum Warm Pers Toerusting Prestasie en Kenmerke

1. Geleidelike vakuum-ekstraksie met beheerde pomptempo;

2. Groot kamer vir ruim opgraderingspotensiaal;

3. Stabiele perskop met outomatiese werking;

4. Drukopwaartse en -vrystellingsbeheer met outomatiese drukhelling en resepregulering;

5. Presiese temperatuurbeheer met programmeerbare temperatuur- en druksiklusse;

6. Aanpasbare vakuum-, druk- en temperatuurparameters vir diverse bindingsprosesse;

7. Digte binding met geen borrels nie;

8. Ultra-lae breeksyfer—feitlik geen toestel-geïnduseerde frakture nie;

9. Verenigbaarheid: Ondersteun 6-12 duim wafers;

10. Maksimum afwaartse druk: 1.6 T;

11. Ultieme vakuum: 5 Pa (koud);

12. Verhittingsplatform temperatuuruniformiteit: <±3℃, σ<4 (teen 200℃);

13. Drukfluktuasie: <0.5%.

Parameters van warmpersoond vir saadbinding